超純級壓力傳感器

UNIK5000P

超純級壓力傳感器

在半導體器件的生產過程中，壓力這一物理量的測量、校準及控制是許多制程的關鍵組成部分。德魯克是壓力測量行業的品牌，經過逾半個世紀的積累，我們在包括半導體行業在內的諸多行業中積累了豐富應用經驗。

德魯克面向半導體等行業的超純介質壓力測量應用推出了超純壓力傳感器，該系列的核心設計源于經典的UNIK5000系列。數十年來，該系列壓力傳感器在各類對性能及可靠性要求嚴苛的應用，例如航空航天、發動機測試及其他工業壓力測試等領域中獲得了廣泛認可。

同時，UNIK5000P系列超純壓力傳感器采用專用生產及包裝制程，以確保所需的超純、無油特性得以滿足。基于大量應用的反饋結果，該系列擁有優良的可靠性和穩定性。融合了高精度、高穩定性以及低成本特性的UNIK系列超純壓力傳感器業已得到諸多用戶的認可。

應用行業

·半導體、太陽能、液晶面板制造設備等·超純介質和特殊氣體系統壓力測量

應用介質

·超純及有毒等特種介質

特點

量程最大可5000psi

綜合測量精度可達士0.2%FS BSL

補償溫度范圍可達-40 ~+125°C

硅壓阻敏感元件，年穩定性士0.05%FS，具備高可靠性

快速響應時間，上電時間小于30ms

具備完整的半導體工藝過程壓力接口選項

接液部分采用EP電解拋光，Ra<0.13μm(RA5)，符合SEMI F19

適用于與316L不銹鋼和哈氏合金C276兼容的超純流體，接液部分材質符合SEMIF20，VIMNAR材質可選

接液部分脫脂清洗，產品采用雙層真空包裝

·危險區域認證可選