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        超聲波流量計檢測器

        更新時間:2025-04-08

        簡要描述:

        超聲波流量計檢測器UCUF系列是半導體制程中涂膠顯影,清洗、CMP、藥液供給等設備中,純水、超純水和各種化學藥液的高精度測量的小口徑超聲波流量計,其由UCUF檢測器和SFC轉換器組成

        型號:UCUF點擊量:256

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        超聲波流量計檢測器UCUF系列是半導體制程中涂膠顯影,清洗、CMP、藥液供給等設備中,純水、超純水和各種化學藥液的高精度測量的小口徑超聲波流量計,其由UCUF檢測器和SFC轉換器組成。

        特點>接液部是PFA材質,沒有可動部件,接液部沒有容易造成液體滯留的部件(如O型圈),可以滿足高潔凈度的要求。>不需要前后直管段。>高精度(讀值的1%)>量程從10mL/min到80L/min都可以對應。

        主要用途>半導體制造行業用的純水、超純水的流量測量,>各種藥液供給裝置的流量測量。>高腐蝕性液體的流量測量,>CMP Slurry的流量測量。>其他中小口徑液體流量測量。

        測量原理原理圖如右圖,采用U型管狀檢測器,液體從入口流入,經過90°流入測定管,再經過90°從出口流出,測定管的兩端裝有發送和接受超聲波的壓電傳感器,測量超聲波在液體A→B、B→A間的時間tA、tB。液體靜止時tA=tB,液體流動時,tA由于是順流所以時間短,tB逆流所以時間長,通過tB-tA計算出流速。tA、tB和流量的關系受管路的尺寸、形狀、藥液粘度等因素影響而不同。通過存有大量實驗數據的內置線性轉換器,實現高精度的測量。

        圧電素子 A

        伝搬時間 tRA

        OUT

        超聲波流量計檢測器規格參數

        >測定對象:液體(不含氣泡,不腐蝕PFA材料)>流體溫度:10~90℃(超過90℃請聯絡)

        >環境溫度:0~60℃

        >流體壓力:0~0.5MPa

        1000~2200m/s>音速范圍:

        檢測器

        型號

        最大流量范圍最小流量范圍0-3L/min0-3L/min0-3L/min0-8L/min

        0-0.05L/min

        UCUF-04SE

        UCUF-04AM

        0-0.05L/min

        UCUF-04E

        0-0.05L/min

        UCUF-06EUCUF-10K

        0-0.4L/min

        0-20L/min0-50L/min

        0-1L/min

        UCUF-15K

        0-3L/min

        UCUF-20K

        0-80L/min0-4L/min

        連接口徑

        1/41/43/8

        3/812

        3/4

        1

        連接線纜>數量:2根,In和Out各一根。>長度:標準5米(如需其他長度請聯絡)>材質:外皮PVC(如需其他材質請聯絡)

        >流體運動粘度:0.8~40mm2/s>過程連接:PFA管(參照下)>保護等級:IP65>放置場所:室內>流量范圍:參照下表

        SFC3000

        單通道轉換器

        多通道轉換器

        SFC4000SFC-011SSFC8000

        SFC3100

        轉換器端,單通道BNC、多通道SMB.>接頭:檢測器端,UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。其他系列不可拆卸。


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