更新時(shí)間：2025-01-15
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。
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ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 半導(dǎo)體
● 光伏
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列
產(chǎn)品特色
數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動(dòng)截止閥，泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 200：1
最大顯示流量 102.4%FS
顯示屏 帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
閥門泄漏率 不超過(guò)1x10 atm scc/sec (He)
重復(fù)性 ± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
響應(yīng)時(shí)間 100ms（可調(diào)）預(yù)熱時(shí)間：<1s
標(biāo)定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ℃
工作濕度：0-100%，無(wú)冷凝
標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力 1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng) 2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì) 316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強(qiáng)尼龍
鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求 防護(hù)等級(jí)：IP40
* 混合氣體編碼為“800"，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。
* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900"。
* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。
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